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電子級(jí)乙二胺四甲叉膦酸EDTMPA

一、性能與用途

電子級(jí)EDTMPA為白色結(jié)晶性粉末，具有很強(qiáng)的金屬離子螯合能力，在半導(dǎo)體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝，可以提高研磨效率和光潔度，在顯示面板、PCB板蝕刻加工過程中使用可以減少毛刺，提高銅箔表面光潔度

二、技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)  目 指  標(biāo)
外 觀 白色結(jié)晶性粉末
活性（以EDTMPA計(jì)）/% ≥96.0
單金屬離子/ppb 可根據(jù)客戶需求定制

三、包裝與貯存

電子級(jí)EDTMPA采用電子級(jí)復(fù)合塑編袋包裝或符合出口環(huán)保要求的包裝，每袋凈重25kg，可根據(jù)客戶需求定制。貯存于室內(nèi)陰涼處，貯存期十二個(gè)月。

四、安全與防護(hù)

電子級(jí)EDTMPA為酸性固體，操作時(shí)注意勞動(dòng)保護(hù)，應(yīng)避免與皮膚、眼睛等接觸，接觸后應(yīng)立即用大量清水沖洗。

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